氦气净化器 (BY-GHE)

产品简介 »

　　超纯氦气净化器是采用新型贵金属合金净化剂，与各种活性气体反应形成稳定的化合物或固溶体，使气体达到目的净化的目的。
　　产品气流量：1-3000Nm3／h
　　产品纯度：＞99.99999％
　　特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理精度高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可达到ppb级净化。
　　适用范围：微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。