热式气体质量流量控制器主要是依靠热式原理，采用新型传感制作工艺，具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、耐压高、线性度好等优点。外观和尺寸都非常小巧，是一款非常适合做成套自动化控制的集成智能仪器。

   热式气体质量流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。