Sc钪靶

 

日本高纯度化学研究所作为溅射靶材制造商，通过大量的生产经验为每种材料选择合适的接合方法。并且对每一个完成品靶材进行检测，保证它的品质。

溅射靶材是一种通过溅射法生成薄膜的材料，由金属及陶瓷加工制造而成。
我们通过将熔化技术，烧结技术，合成技术以及加工技术进行技术融合，可以对各种素材，纯度以及形状的产品进行处理。

 

 

 

各种溅射靶材的产品例

 

金属靶材

 

Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn

Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金

Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si

Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt

Co, Fe, Ni基赫斯勒合金

Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si

Au,Ag,Pt,Pd系列的合金

 

无机化合物靶材

 

Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3 ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4

SiC,B4C,WC

氮化物，氟化物，磷化物，硫化物，硒化物

 

复合靶材

 

Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各种纯金属?合金

Al2O3, MgO, SiO2等各种氧化物?氮化物