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莱宝分子泵

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“莱宝分子泵”详细介绍

  C09涡轮分子泵系列 
  莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格,抽速自50至1100升/秒,极限真空度为<10-10mbar。
  其主要特点为:
  ◆陶瓷轴承为脂润滑,无维护运行时间长。
  ◆允许任意角度安装。
  ◆有水冷和风冷两种选择。
  ◆对H2的压缩比大。
  ◆无油真空泵,可用来产生洁净的超高真空。
  
  TW系列复合分子泵
  抽速:70~1600升/秒 
  极限真空度:10-9mbar 
  最大允许前级压强:6~14mbar 
  
  主要特点有: 
  ◆转子叶片为一次成型,消除了叶片应力,使得前级耐压高达14mbar,并能抵抗短暂的大气冲击。 
  ◆高效的风冷系统,使其在绝大多数工作条件下无需冷水。
  ◆变频器与泵体的一体化设计,避免了连接变频器带来的不便。
  ◆模块化的设计为用户提供了多种选择。 
  ◆结构紧凑,可方便地安装到复杂的系统中。 
  ◆可以任意角度安装。 
  ◆螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。 
  ◆轴承为油脂润滑,无维护运行时间长。
  ◆无油真空泵,可用来产生洁净的高真空和超高真空。
  ◆可在轴承需要维护时提前预警。 
  ◆通过通讯接口可以与掌上电脑,PC或PLC联络,以读取分子泵工作状态的参数,以及储存单元的运行记录;并可根据需要对某些参数进行修改,如频率等。 
  ◆高前级耐压降低了对前级泵的要求,使得系统总体造价降低。 
  
  新一代数字化控制,五轴定位的磁悬浮分子泵
  MAG 1500C/CT,MAG2000C/CT,MAG2200C/CT,MAG 2800C/CT,MAG 3200C/CT
  抽速:1500l/s~3200l/s 
  ●五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好全无油,耐粉尘、抗气流冲击。
  ●转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形,应力小,强度高,耐冲击,高温变形量小,转子叶片不易卷曲、打碎;转子长期运行温度可高达120℃。 
  ●转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层 
  ●较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能,适用于抽除腐蚀性强的工艺气体; 
  ●降低气流与转子叶片摩擦产生的热量,降低转子运行温度,有利于延长转子寿命;
  ●叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
  ●保护轴承为陶瓷轴承,寿命长(>600次),无需更换保护轴承。
 
  ●高真空端连接采用ISO-F,连接螺栓强度高,充分保障安全。
  ●智能化电源,无需UPS。 
  ●带拖动级,前级耐压在2mbar以上。 
  ●分子泵运行温度可调节,使其充分适应不同工艺制程。 
  ●最先进的数字控制技术
  ●运行速度、温度可设置; 
  ●运行数据记录存储,提供多达180条运行信息; 
  ●磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短 
  ●转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间短; 
  ●在气流长时间(2分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量过大时,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。 
  ●控制器与泵无识别性,可互换。 
  ●免维护。
 
  典型应用:
  适用于 
  ●所有半导体主要制程:刻蚀、化学气相沉淀及离子注入 
  ●科研领域 
  ●镀膜 
  另外,莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M,MAG400和MAG 1000。