产品描述

杭州光研科技有限公司

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经营模式: 生产制造

所在地区: 浙江省  杭州市

认证信息: 身份认证

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杭州光研科技有限公司是全自动硅片缺陷检测复合机,机械手的优良生产制造厂家,竭诚为您提供全新的JEL半导体机械臂,GWProfile-全自动边缘轮廓检测设备,GWP-全自动硅片内部缺陷检测设备等系列产品。

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GWM-全自动硅片缺陷检测复合机

图片审核中 GWM-全自动硅片缺陷检测复合机
GWM-全自动硅片缺陷检测复合机

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起批量 ≥1台
供货总量 100台
产地 浙江省/杭州市
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产品详情

“GWM-全自动硅片缺陷检测复合机”参数说明

型号: Gwm- 商标:

“GWM-全自动硅片缺陷检测复合机”详细介绍

GWM-全自动硅片缺陷检测复合机基本介绍
可对应300mm硅片的边缘、表面、背面的缺陷检测复合机。
【边缘检测】:对硅片外周(Bevel)进行非接触式高速检测。 画像处理根据预先设定的参数条件自动提取各种缺陷,并判定是否合格。
【正面·背面检测】:当线性光照射硅片时,正反射光与入射角相同的角度反射。如果硅片表面凹凸不平,光就会散射并出现多个角度的反射光。通过接收向上的散射光来检测硅片上的凹凸缺陷。
GWM-全自动硅片缺陷检测复合机性能特点
【检测对象】:8~12寸 抛光片&外延片

菜单功能】:可编辑检测菜单,并进行参数保存与导出

生产能力】:根据缺陷种类不同每片检测只需 60S。
【缺陷种类】:划痕 ,颗粒,Cloud,GM ,E to E ,Haze-Discolored ,Pin mark ,Halo ,Susceptor Scratch
※针对部分缺陷进行OK/NG判定

检测范围】:边缘,表面,背面

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