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上海瞻驰光电科技有限公司

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经营模式: 贸易批发

所在地区: 上海市 

认证信息: 身份认证

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上海瞻驰光电科技有限公司是研磨,抛光,划片的优良贸易批发商,竭诚为您提供全新的日本全自动单片晶圆清洗机,日本电子束曝光设备EBL,小型干法刻蚀机RIE-10NR直开式等系列产品。

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NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜

图片审核中 NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜
NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜

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供货总量 1000台
产地 日本
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产品详情

“NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜”参数说明

是否有现货: 认证:
品牌: Nitto 自动化程度: 半自动
是否加工定制: 电流: 交流
型号: MSA840II 规格: 用于 200 mm 晶圆的半自动晶圆贴膜
商标: nitto 包装: 标准

“NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜”详细介绍


一、设备总体描述:


1. 该撕膜机用于减薄或刻蚀工艺后晶圆表面保护胶带的揭除。设备可用于        4”、5”、6”、8”晶圆撕膜。
2.  采用滚轮方式压覆撕膜胶带,利用撕膜胶带黏性去除保护胶带。
3.  设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。
4. 机器尺寸:540mm(W) X 910mm(D) X 720mm(H)
5. 机器重量:200kg   


二、设备技术指标:

1)        适用晶圆尺寸: 4”、5”、6”、8
2)        适用晶圆厚度: 200um150um以下 片撕膜为可选项)
3)        晶圆固定方式: 真空吸附
4)        工作台加热: 80
5)        工作台材质: 铝制,表面特氟龙防静电涂层。
6)        撕膜胶带宽度: 100mm
7)        废胶带回收功能: 有,自动
8)        撕膜速度: 50/
9)        操作面板: 3.8寸触摸屏,工艺参数可编程及存储。
10)     操作方式: 自动贴撕膜胶带,自动撕膜,自动回收废膜,动作完成报警提示。
11)     静电控制: 整个撕膜过程设计静电防护,胶膜滚轮等与产品关联的部位采用防静电材料,安装基恩士除静电离子风扇,控制机内和撕膜工作过程的静电水平<100V
12)     安全保护: 设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。具有EMO紧急按钮,门未关闭报警,废胶带满载报警功能。

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