NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜
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产品详情
“NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜”参数说明
是否有现货: | 是 | 认证: | 有 |
品牌: | Nitto | 自动化程度: | 半自动 |
是否加工定制: | 是 | 电流: | 交流 |
型号: | MSA840II | 规格: | 用于 200 mm 晶圆的半自动晶圆贴膜 |
商标: | nitto | 包装: | 标准 |
“NITTO DENKO日东电工HSA840II 8寸半自动撕膜机 揭膜”详细介绍
一、设备总体描述:
1. 该撕膜机用于减薄或刻蚀工艺后晶圆表面保护胶带的揭除。设备可用于 4”、5”、6”、8”晶圆撕膜。
2. 采用滚轮方式压覆撕膜胶带,利用撕膜胶带黏性去除保护胶带。
3. 设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。
4. 机器尺寸:540mm(W) X 910mm(D) X 720mm(H)
5. 机器重量:200kg
二、设备技术指标:
1) 适用晶圆尺寸: | 4”、5”、6”、8” |
2) 适用晶圆厚度: | 200um(150um以下 片撕膜为可选项) |
3) 晶圆固定方式: | 真空吸附 |
4) 工作台加热: | 80℃ |
5) 工作台材质: | 铝制,表面特氟龙防静电涂层。 |
6) 撕膜胶带宽度: | 100mm |
7) 废胶带回收功能: | 有,自动 |
8) 撕膜速度: | 50秒/片 |
9) 操作面板: | 3.8寸触摸屏,工艺参数可编程及存储。 |
10) 操作方式: | 自动贴撕膜胶带,自动撕膜,自动回收废膜,动作完成报警提示。 |
11) 静电控制: | 整个撕膜过程设计静电防护,胶膜滚轮等与产品关联的部位采用防静电材料,安装基恩士除静电离子风扇,控制机内和撕膜工作过程的静电水平<100V |
12) 安全保护: | 设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。具有EMO紧急按钮,门未关闭报警,废胶带满载报警功能。 |
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