多功能溅射真空镀膜机
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产品详情
“多功能溅射真空镀膜机”参数说明
是否有现货: | 否 | 自动化程度: | 半自动 |
电流: | 直流 |
“多功能溅射真空镀膜机”详细介绍
多功能溅射真空镀膜机基本介绍
本设备满足用于量产片式电阻端导电极生产。
应用于被动组件产业/陶瓷散热基板/镀膜。
应用于各类非磁性金属与分金属镀膜。
功能性设计,可满足不同制程多样化之需求。
高自动化、抽气速率快,可配合需求生产电阻端导电极。
保养周期长,连续生产无需保养受环境影响小,无停机后重启时间上等问题。
强大的数据处理功能,可与现场ERP连接使用。
多功能溅射真空镀膜机性能特点
本设备采用单片旋叶泵+扩散泵组合抽真空系统。保养周期长,连续生产无需保养(除日常靶材保养),受环境影响小,无停机后重启时间上等问题。
多功能溅射真空镀膜机技术参数
空载极限真空:1.0×10-4Pa/ 1.0×10-5Torr
泄漏率:<1.0×10-8L-Torr/Sec
空载抽速:常压到8.0×10-2 Torr 用于≦10min
真空组件品牌: EDWARDS, ULVAC, Leybold, 唐山标先电子Power Supply, 成都正华vacuum gauge…等
多功能溅射真空镀膜机使用说明
多功能溅射真空镀膜机采购须知
Trade Term:CIF/ BY SEA。
亦备多种生产规格与客制化开发。详细规格欢迎来信询问。
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