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特征  

上侧和下侧对齐能力              

高精度对准台              

楔块误差自动补偿机构              

电动和配方控制曝光间隙              

支持 的紫外线LED技术              

最小化系统占地面积和设施要求              

分步过程指南              

远程技术支持              

多用户概念（无限数量的用户帐户和配方、可分配的访问权限、不同的用户界面语言）              光刻工艺的敏捷加工与转换              

台面或独立式，带防振花岗岩台面              

附加功能：              

键对齐              

红外对准              

纳米压印光刻             

 μ-接触印刷

技术数据              

晶圆直径（基板尺寸）              

标准平版印刷：小于等于150 mm的零件              

软紫外-无光：片高达150毫米              

分辨率             

 <40nm（分辨率取决于模板和工艺）              

支持的进程              

软紫外           

光源              

汞灯或紫外LED光源              

自动分离              

不支持              

工作印章制作    

外部