小型快速退火炉
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产品详情
“小型快速退火炉”参数说明
| 种类： | 感应加热设备 |
“小型快速退火炉”详细介绍
此款小型快速退火炉是集成仪 巧妙的结构设计和 的加热方式与一体，使得体积和功率都大幅减小的同时，升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空，满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。
应用范围：
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 扩散 (Diffusion);
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点：
Ø 极速升温20℃/S，极速降温20℃/S；
Ø 控温稳定，恒温精度≤1℃
Ø 体积小巧，使用功率只有1kw；
Ø 光线反射效率，无需炉膛保温；
技术参数：
| 产品名称 |
mini快速退火炉 |
| 产品型号 |
RTP1000S |
| 极限温度 |
1000℃ |
| 额定温度 |
1000℃ |
| 控温精度 |
±1℃ |
| 快升温速率 |
20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S) |
| 快降温速率 |
随炉冷却75℃/min 物料台拉出降温800℃/min |
| 控制方式 |
智能PID |
| 加热方式 |
短波红外线加热 |
| 加热腔体结构 |
石英管 |
| 样品冷却 |
自然冷却或通入冷却气体 |
| 冷却气体调节 |
浮子流量计(100～1000ml/min)（选配） |
| 超温保护 |
温度出现过高时切断主回路 |
| 恒温区尺寸 |
35mm |
| 载料体尺寸 |
30*25mm |
| 传感器类型 |
K型 |
| 真空系统 |
1L/S 双级联真空系统 CHY-4C（选配） |
| 整机真空度 |
3Pa（选配CHY-4C真空泵） |
| 抽气端口尺寸 |
KF16 |
| 供气口尺寸 |
1/4英寸双卡套 |
| 额定功率 |
1.5kw |
| 额定电压 |
AC220V,50Hz |
| 重量 |
15kg |
| 配件 |
坩埚钳1把，说明书1本。 |
| 外形尺寸 |
610x400x410（长*宽*高） |
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