一、 技术特点

1、洁净真空环境

真空室内所有结构件采用金属元件和绝缘陶瓷，并经过严格的真空抛光、去油、除气处理，保证腔体及炉内材料洁净无油，保证对处理产品 ，影响产品性能。

2、均温性优

多次验证的设计经验与现代有限元分析软件的结合设计，使炉温均匀性能在±5℃以内；

3、追溯性及严谨性

标配 PLC、真空数据记录仪等,实现设备的智能化、人性化、 自动化,并严格按照既定工艺完成对应实验、生产要求,达到数据上的严谨性、和客观性。

4、真空度优

设备摒弃传统真空炉的扩散泵加机械泵的抽气组合，采用分子泵加机械泵组合，清洁无油，不会出现扩散泵的返油现象，保证真空室及处理材料的洁净度。无需扩散泵的预热环节，启动时间快，真空获得时间短，大大提升生产效率。

5、压升率极低，控制在1pa/h以内

是否能将压升率做到极低的值是衡量真空技术水平的关键指标，对热处理产品质量及表面美观有直接影响，炉壳为全不锈钢材料，焊缝严格检漏，密封原件采用进口产品，并经特殊处理，保证将压升率控制在1pa/h以内，远超真空炉国内标准。

 

二.设备主要参数

序号	项  目	参    数	单位
1	炉型	卧式	/
2	控制方式	PLC+人机界面	/
3	抽气机组	分子泵+机械泵	/
4	电源要求	3相 380/220V 50Hz	/
5	总功率	32	kw
8	使用材质	炉体及法兰为304L材料	/
		加热器为钼镧合金	/
		隔热屏为钼镧合金加不锈钢	/

 

三.主要技术指标

序号	项   目	参    数	单位
1	加热区尺寸	600*390（L×？）	mm
2	工作区尺寸	400*200*200（L×W×H）	mm
3	工作温度	≤1200	℃
4	极限温度	≤1300	℃
4	均温性	±5（900℃，保温30分钟后测量）	℃
5	控温精度	±1	℃
6	极限真空度	6.67×10-4(空炉、冷态、经净化)	Pa
7	工作真空	6.67×10-3（空炉,900℃,保温1h）	Pa
9	系统抽速	主抽阀开启后20min内（1atm到1×10-3Pa）	Pa
10	升温速率	≤20℃/min	℃/min
11	温度测量	一点控温、一点金属屏温度监控，预留电极法兰口，用于温场测量	/

 

四、加热系统

1、加热区尺寸：600*390mm（L×？）

2、加热功率：25 KW

3、加热元件：钼镧合金

4、隔热组件：钼镧合金+不锈钢

5、温度测量：N型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉） 建议10℃/min，快≤20℃/min

8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用 99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。

9、加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30段升温曲线，存贮多组工艺配方，组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。

 

五、真空系统

1、真空配置： 一台复合分子泵FB-1600、一台旋片机械泵BSV-40；

2、极限真空：≤6.67*10-4Pa（空载、冷态、经净化）；

3、工作真空：≤6.67*10-3Pa；

4、真空测量： 复合真空计ZDF5227A

测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa

5. 真空机组功率：4 Kw

6、优点：效率高、 、低能耗、低噪音。

7、压升率：1Pa/h

 

 

 

六、水冷系统：

真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，每个电极冷却均配有水流量观察仪，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。

 

七、安全系统：

安全系统包括：停水、驱动气欠压、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。

 

八、设备安装运行条件：

1、环境条件
  1）环境温度：－15－45℃
  2）海拔高度：≤2000m
  3）环境相对湿度：≤75%
 2、电源条件
  1）额定电压：三相380V(±10V)
  2）额定频率：50Hz
  3）整机配电功率：≥40KW
 3、水冷条件
  1）水压：0.2~0.4MPa
  2）进水温度：≤15℃
  3）水流量：≥5m3/h
  4）水质要求：不含泥沙及杂质的软水，电阻率≥1M(Ω·mm2/m)，PH≈7。本产品在运行时要求持续供应符合要求的冷却水，为保证本产品的 ，需方须自备紧急用水源，当停电时仍有冷却水供给。
 4、气体
  1）气：用于保护气氛 纯度≥99.999%，0.2~0.4MPa；
  2）：用于启动装置的驱动气源、压力0.3~0.6MPa，无油、无水干净的气体。  

   

• 设备配置

序号	名称	数量	产地	备注
1	炉壳	1套	自制	304
2	分子泵FZB1600	1套	久泰
3	机械泵BSV40	1台
4	主抽阀（250）	1台	自制
5	KF40角阀	2只	宁波仪表阀门厂
6	电磁放气阀	1只	宁波仪表阀门厂
7	加热室	1套	自制
8	水冷电极	1套	自制
9	进水回水管路	1套	自制
10		2只	德力西
11	进气阀	1只	burkert
12	压力变送器	1只	奥突尼斯
13	温控仪表	1只	宇电
14	人机界面	1台	MCGS
15	复合真空计	1套	睿宝
16	热电偶N分度	1只