压电陶瓷促动器宏微复合机构简介

P83、P84为标准测微头与可产生高分辨率位移压电陶瓷机构相结合，通过手动调节大范围的测微头实现13mm大范围位移，再通过控制驱动电压输出，使压电陶瓷机构相应伸长或缩短到预定位置，从而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的精调节。

 

宏微复合机构

宏微复合机构是通过宏动调节测微头与压电微动调节机构完成大范围精密定位需求。

 压电陶瓷促动器宏微复合机构特点

? X 向运动，1至 3维自由组合 ? 手调千分尺行程 13mm，分辨率达 10µm ? 压电精调行程 100µm，分辨率达 2.5nm
? 压电调节可选配应变传感器

 压电陶瓷促动器宏微复合机构用途

细胞操作、光学对准、样品调节等。

 压电陶瓷促动器宏微复合机构使用说明

压电千分尺分两种型号，分别为 P83 与 P84，区别在于压电精调行程不同，P83 为 25µm，P84 为 100µm。

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