XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动，具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制，高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

 

1-3维平移台

XP-62X系列压电纳米定位台可通过转接板连接，组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。

多种规格型号可选。

柔性铰链采用精密线切割技术。

 

宏微复合机构

二维压电纳米定位台配套二维宏动台，应用于精密加工中。

 

大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性

XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机构，优异的柔性铰链设计，具有高刚度、高频响等特点，刚度可达40N/μm，空载谐振频率高达4.2kHz，适用于需要大负载、高频率需求的应用，如电化学加工等。

XP-62X系列压电平台内置带有预紧力的封装型压电陶瓷，平台采用有限元建模分析、柔性铰链导向机构，无磨损、免维护，提供 的稳定性。该产品易于与其他宏动台产品集成配套，实现 行程的精密定位。