P63系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化，柔性导向系统具有 的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有 的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易于集成。

 

1-3维平移台

P63系列压电纳米定位台，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。

 

小体积、高精度、响应速度快

P63系列压电纳米定位台 重要的特点是 精密且体积非常小巧，尺寸仅为30×24×42mm（X轴尺寸为30×24×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。

P63系列纳米定位台是 精密纳米定位系统，是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的，具有 惯性，响应时间可达0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

 

应用实例

P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中。