压电扫描台放大机构式XP-780.X,压电平台简介 

XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴 220μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。

 

压电扫描台放大机构式XP-780.X,压电平台特点

? 最大位移 200μm ? 最大承载 5kg ? 通孔尺寸：25×25mm ? 闭环重复定位精度高 ? 开 / 闭环可选
1~3维扫描台：XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格型号，可以自由叠加组合。

 

 

大行程、高精度、大负载

XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理，可以实现 220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向机构使其具有 的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。

优异的结构设计使其具有非常高的刚度，承载能力大，可带载5kg的样品作精密定位。

压电扫描台放大机构式XP-780.X,压电平台技术参数

型号	尾缀S-闭环			单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X	X
运动和定位
标称行程范围（0~120V）		160	160	µm±20%
行程范围（-20~150V）		200	200	µm±20%
传感器类型		SGS	-
通孔尺寸		25×25	25×25	mm
分辨率		10	5	nm，typ.
闭环线性度		0.1	-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05	-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<50	<50	µrad
机械性能
运动方向推/拉力		80/40	80/40	N
运动方向刚度		0.5	0.5	N/µm±20%
空载谐振频率		0.2	0.2	kHz±20%
空载阶跃时间		20	5	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	50	>50	Hz±20%
	行程	15	>15
承载能力		5	5	Kg
驱动性能
静电容量		11	11	μF±20%
其他
工作温度范围**		-20~80	-20~80	°C
材质		铝	铝
外形尺寸（长×宽×高）		100×100×20	100×100×20	mm
重量		240	240	g±5%
出线长		1.5	1.5	m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO	LEMO

*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。 
** 可定制低温版本及高真空版本。 
***连接器可定制。 
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

 

压电扫描台放大机构式XP-780.X,压电平台尺寸图

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特点：

多种外形尺寸可选， 位移可达560um

开环/闭环版本可选

最大出力可达50000N

内置高性能进口压电陶瓷，高可靠性

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应用：

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