N12系列压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化结构，具有 的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程0.04%的重复定位精度。

 

1~3维扫描台

N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。

 

闭环传感定位精度高

N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。

压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。

 

小体积、大位移、中心通孔

N12系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达110μm。 的平行运动学设计原理，使得平台可以实现XYZ轴高速精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化OEM系统等。

该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。