P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ 370μm的高速扫描， 通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。

 

1~3维扫描台

P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

 

应用实例-纳米光刻

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。

芯明天300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

 

大位移、大承载、高刚度、高频响

P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以实现 370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。

P18采用 的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，最大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间最高可达5ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。