压电扫描台P78.Z100S/K-D1基本介绍

压电扫描台P78.Z100S/K-D1性能特点

特点  
       行程范围可达110µm
       Z向分辨率可达4nm   
       承载能力可达1kg
       通孔尺寸为120×70mm
       高度仅25mm
       应用于Z向显微扫描

  应用 

医疗显微成像、生物技术、超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、筛选、干涉测量、测量技术、自动聚焦系统、半导体测试等。

 

压电扫描台P78.Z100-D1是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的压电扫描台，它的外形结构易于集成于显微仪器设备中。压电扫描台P78.Z100-D1的Z向运动范围可达110µm。

 

压电扫描台P78.Z100-D1对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。它的高度仅25mm，中心具有120×70mm的通孔，可提供亚纳米级分辨率的高精度运动。

 

压电扫描台P78.Z100-D1可选配桥式配置的闭环传感器，可消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。

 

压电扫描台P78.Z100-D1的结构经过FEA建模仿真分析设计，无间隙、无摩擦，具有 的运动精度。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。因其并联运动学的设计，将扫描台的质量尽可能缩小，使结构 紧凑、响应速度 。

 

压电扫描台P78.Z100-D1匹配芯明天E53.D压电控制器使用，整个压电显微聚焦的体积非常小巧。可选择闭环控制及上位机通信功能。

压电扫描台P78.Z100S/K-D1技术参数

型号

S-闭环 
K-开环

P78.Z100S-D1

P78.Z100K-D1

单位

运动自由度

Z

Z

 

运动与定位

行程范围（0 ~+120 V）

80

80

µm±20%

行程范围（-20~+150 V）

110

110

µm±20%

传感器类型

SGS

-

 

通孔尺寸

120×70

120×70

mm

分辨率

7

4

nm

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

机械性能

运动方向推/拉力

120/15

120/15

N

运动方向刚度

1.5

1.5

N/um±20%

空载谐振频率

200

200

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30

5

ms

空载工作频率

10%行程

50Hz

>50

Hz±20%

行程

15

>15

Hz±20%

承载能力

1

1

Kg, max

驱动性能

静电容量

5.4

5.4

μF/轴±20%

其他

工作温度范围

-20~80

-20~80

℃

材质

钢、铝

钢、铝

 

外形尺寸（长宽高）

154×136×25

154×136×25

mm

重量

560

560

g±5%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器

LEMO

LEMO

 

压电扫描台P78.Z100S/K-D1使用说明

 

压电扫描台P78.Z100S/K-D1采购须知