系统组成

1、激光器系统；2、外光路系统；3、X、Y、∮三轴精细运动系统；4、机器人上下料系统；5、寻边定位系统；6、高速振镜扫描系统；

一键式操作全自动运行

效率高、速度快

非接触式加工，避免污染

长期稳定可靠运行.

人性化设计、人机界面友好

触摸屏操控

激光器寿命十万小时免维护

光速质量好、聚焦光斑小、能实现超精细标记

自动化程度            自动上下料、自动寻边定位、自动标刻打码

加工尺寸               6寸、8寸、12寸

标刻内容              十字定位标记、ID序列号

扫描速度              ≤7000mm/s

标记效率              >80pcs/hr

定位精度              ±2.5μm

重复精度              ±1μm

旋转精度              30 arc-sec(0.008°)

行程范围              X:200mm Y:150mm θ:360° Z:25mm

激光波长              355nm/1064nm

重复频率              20~500kHz

激光功率              20W@30kH

激光 等级          Class IV

 适用于硅晶圆的定位十字叉标刻和ID序列号打标

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