氧化扩散炉 氧化炉专业定制厂家-- 青岛晨立
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产品详情
“氧化扩散炉 氧化炉专业定制厂家-- 青岛晨立”参数说明
| 别名： | 热处理设备 | 是否有现货： | 是 |
| 品牌： | 晨立 | 用途： | 加工硅片进行扩散、氧化、退火、合 |
| 自动化程度： | 全自动 | 是否加工定制： | 是 |
| 电流： | 直流 | 型号： | Cl |
| 规格： | Cl | 商标： | 晨立 |
| 包装： | 木箱 | 产量： | 200 |
“氧化扩散炉 氧化炉专业定制厂家-- 青岛晨立”详细介绍
外型形式：
卧式3管结构扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所
加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超
净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
技术指标：
可处理硅片尺寸：2—8英寸
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
温度斜变：可控升温速率20℃／min，
可控降温速率：5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式：工控机、触摸屏
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