上海旦顺实业有限公司

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涂胶 60度预热烤箱

图片审核中 涂胶  60度预热烤箱
涂胶  60度预热烤箱

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产地 上海市
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产品详情

“涂胶 60度预热烤箱”详细介绍

  本公司COL-系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、 化 、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显 的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到 温度控制精度。
  技术参数:
  1.百级无尘烤箱型号:COL-2
  2.无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
  3.温度范围:RT+60℃~300℃
  4.无尘烤箱洁净度:100级;
  5.温度均匀性:±1.5%
  6.波动度:±0.5℃
  7.电源:380V 50Hz 7.5KW;
  8.箱体材料:外箱采用 SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉;
  9.空气循环装置:大容量轴流电机;
  10.加热方式:不锈钢电加热器;
  11.温度测量传感器:Pt100铂电阻;
  12.控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃;
  13.超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的 ;
  14.控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;
  15.排气口:ф50;
  16.隔板:2层,不锈钢方通,承重约30KG.

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