EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工
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产品详情
“EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工”参数说明
自动化程度: | 手动 | 电流: | 交流 |
背部对住精度: | ±2μm 3 σ | 红外对准: | 可选 |
透射对准精度: | ±1μm 3 σ |
“EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工”详细介绍
EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工基本介绍
EVG610键合对准系统专为晶圆与晶圆对准设计,晶圆尺寸 大可达150 mm。EV Group键合对准系统提供手动高精度带有底部显微镜的校准台。EVG的键合对准系统的精度能满足MEMS生产和3D集成应用等新兴领域中苛刻的对准要求。
EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工性能特点
适用于EVG501和EVG510键合系统
晶圆和基板尺寸可达150/200 mm
手动高精度对准
手动底侧显微镜
基于Windows系统的用户界面
的多用户概念(无限数量的用户帐户,各种访问权限,不同的用户界面语言)
桌面系统设计,占地面积 小
支持IR对准过程
研发和试生产线的 低的拥有成本(TCO)
EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工技术参数
1.基本配置:
台式
机架:可选
隔振模式:被动
2.对准方式:
背部对住精度:±2μm 3 σ
透射对准精度:±1μm 3 σ
红外对准:可选
3.对准台:
高精度测微计:手动
可选:机械测微计
楔形补偿:自动
EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工使用说明
用于晶圆到晶圆对准的手动键合对准系统,适用于学校和工业研究。
EVG610 BA 键合对准系统 微流控加工采购须知
货期较长,购买前需要提前确认。
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