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产品详情
“高功率脉冲磁控溅射电源”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 功能： | 其它 |
| 输出类型： | 单极性窄脉冲 | 输出功率： | 15/20/30/40kw |
| 输入电压： | 380V | 稳压形式： | 其它 |
| 连接方式： | 其它 | 供电系统： | 其它 |
| 型号： | Ssph | 规格： | 15/20/30/40kw |
| 商标： | Bovceed | 包装： | 木箱 |
| 产量： | 50 |
“高功率脉冲磁控溅射电源”详细介绍
高功率脉冲磁控溅射电源基本介绍
SSPH
系列高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）电源工作于二级高频变换模式，直流脉冲输出。单个脉冲可输出2-8兆瓦的
峰值功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ，并且不含靶材颗粒，本系列电源制备的涂层表现出良好的结合力和致密性，适用于硬质膜层及 装饰膜层制备。
| 电源功率范围 |
15/20/30/40KW |
| 输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
| 输出方式 |
单极性窄脉冲 |
| 脉冲宽度 |
5-250uS |
| 脉冲频率 |
500HZ |
| 输出电压 |
空载1000-2000V |
| 输出电流 |
1200A 2400A 3600A 4800A |
| 灭弧时间 |
≤1uS |
| 负载持续率 |
|
| 冷却方式 |
风冷 |
| 使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
| 通讯方式 |
RS485/RS232 |
| 说明：电源的输出功率可根据使用需要作相应调整 |
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