成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制
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产品详情
“成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制”参数说明
材质: | 不锈钢 | 驱动方式: | 其它 |
原理: | 干法刻蚀装备 | 产量: | 10 |
“成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制”详细介绍
●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。
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