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产品详情
“SE-RD-STD系列全光谱椭偏仪”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 分类： | 其它 |
| 类目： | 测定仪 | 型号： | Se-rd-std |
| 规格： | 台 | 商标： | 详询 |
| 包装： | 详询 | 专利分类： | 详询 |
| 专利号： | 详询 |
“SE-RD-STD系列全光谱椭偏仪”详细介绍
SE-RD-STD系列全光谱椭偏仪基本介绍
● 桌上型膜厚量测设备
● 安装移动迅速便捷
● 适用于所有非金属膜质
● 多样化的应用选择
● 工业标准数据端口
| 规格 |
技术指标 |
| 衬底类型 |
透明或半透明衬底 |
| 光源 |
氙灯 |
| 光源寿命 |
>8760H |
| 光谱范围 |
300-1000nm |
| 入射角 |
70度（40度-90度 每5度可调） |
| 光斑直径 |
100x120μm(Min80x100um) |
| 测量时间（不对焦） |
<2S(单层模型),<约6s（多层模型） |
| 膜厚测量范围（单层膜） |
1nm-15μm |
| 对焦 |
自动讯号对焦 |
| 膜厚测量精度 |
<0.5nm(基于标片) |
| 折射率测量精度 |
<0.005(基于标片) |
| 厚度重复性精度： |
<0.5A（1 sigma 标准差,10times）（基于标准片） |
| 折射率重复性精度： |
<0.0005（1 sigma标准差,10times）（基于标准片） |
| 可测试膜层数量 |
≥2层 |
| 标片数量 |
2片 |
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