GWP-全自动硅片内部缺陷检测设备
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产品详情
“GWP-全自动硅片内部缺陷检测设备”参数说明
型号: | Gwp |
“GWP-全自动硅片内部缺陷检测设备”详细介绍
GWP-全自动硅片内部缺陷检测设备基本介绍
可对应硅片的内部缺陷检测。
【内部检测】:当线性光照射硅片时,会穿透硅片。如果硅片内部有PIN HOLE则会减少透光量。通过测量透光量来检测硅片内部的缺陷。
【内部检测】:当线性光照射硅片时,会穿透硅片。如果硅片内部有PIN HOLE则会减少透光量。通过测量透光量来检测硅片内部的缺陷。
GWP-全自动硅片内部缺陷检测设备性能特点
【缺陷种类】:PIN HOLE
【生产能力】;每片检测只需 25S
【菜单功能】:可编辑检测菜单,并进行参数保存与导出
【检测范围】:除边缘2mm
【检测对象】:8~12寸 抛光片&外延片
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