供应气体质量流量传感器FS1015系列
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产品详情
“供应气体质量流量传感器FS1015系列”参数说明
品牌: | Siargo | 流体: | 气体 |
结构型式: | 热质量流量计量 | 型号: | FS1015 |
规格: | 详见规格书 | 商标: | 详见规格书 |
包装: | 详见规格书 |
“供应气体质量流量传感器FS1015系列”详细介绍
一、气体质量流量传感器-FS1015系列主要特性:
1)传感器灵敏度高,有极小的始动流量
2)传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
3)在单个芯片上集成了多个传感器,使传感器的量程比大大提高
4)传感器的零点稳定度高
5)全量程高稳定性
6)全量程高精确度和 的重复性
7)低功耗 <100 mW
8)低压损 <1300 Pa
9)响应时间快 8 msec
二、气体质量流量传感器-FS1015系列典型应用:
适用于电气体质量流量的测量。
1)传感器灵敏度高,有极小的始动流量
2)传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
3)在单个芯片上集成了多个传感器,使传感器的量程比大大提高
4)传感器的零点稳定度高
5)全量程高稳定性
6)全量程高精确度和 的重复性
7)低功耗 <100 mW
8)低压损 <1300 Pa
9)响应时间快 8 msec
二、气体质量流量传感器-FS1015系列典型应用:
适用于电气体质量流量的测量。
技术参数:
产品 |
FS1015CL |
单位 |
流量范围 |
0~100 / 0~150 |
SLPM |
量程比 |
100:1 |
|
精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
重复性 |
0.25 |
% |
零点输出飘移 |
±30 |
mV |
输出飘移 |
±0.12 |
%/ ℃ |
响应时间 |
8 |
ms |
工作电压 |
5±1% |
Vdc |
输出方式 |
线性,模拟电压0.5~4.5Vdc |
|
最大流量压损 |
1300 |
Pa |
最大工作压力 |
0.2 |
MPa |
工作温度 |
-10~+55 |
℃ |
储存温度 |
-20~+65 |
℃ |
工作湿度 |
<95%RH(无结冰、无凝露) |
|
电气接口 |
5针插座,AMP 103956-4 |
|
机械接口 |
-15mm |
|
校准方式 |
空气,20℃,101.325kPa |
|
重量 |
21.5 |
g |

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