吉永商事BBS E-150/200/300日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机,边抛机
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产品详情
“吉永商事BBS E-150/200/300日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机,边抛机”参数说明
是否有现货: | 否 | 认证: | 有 |
品牌: | BBS | 自动化程度: | 全自动 |
是否加工定制: | 是 | 电流: | 交流 |
适用尺寸: | 6/8/12寸 |
“吉永商事BBS E-150/200/300日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机,边抛机”详细介绍
1. 设备名称
6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II
(DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type)
2. 设备用途
本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘(缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注:V-NOTCH缩写为VN即缺口;FLAT缩写为OF即参考面)
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