吉永商事SWA-20US碳化硅SiC激光退火炉
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产品详情
“吉永商事SWA-20US碳化硅SiC激光退火炉”参数说明
是否有现货: | 是 | 认证: | 有 |
品牌: | 吉永商事 | 自动化程度: | 全自动 |
是否加工定制: | 是 | 电流: | 交流 |
型号: | SWA-20US | 规格: | 激光器:UV激光器波长355nm |
商标: | 吉永商事 | 包装: | 标准 |
频率: | 20kHz |
“吉永商事SWA-20US碳化硅SiC激光退火炉”详细介绍
激光器:UV激光器波长355nm
频率:20kHz
脉冲持续时间:约40ns
光线尺寸:约100um
输出功率:10W
光学:Top-hat 光学,具有能量调节功能
激光扫描方法:加尔诺瓦扫描仪
内室:O2密度可控
平台:XYZ三轴平台
转移单元:4轴圆柱状并列样式,双机械手臂
监测系统:晶片厚度测量、激光器功率测量、退火点测量、光线剖面测量
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