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BROOKS 9861 系列流量控制器和仪表

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BROOKS 9861 系列流量控制器和仪表

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1 1.00
供货总量 1000件
产      地 上海市
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“BROOKS 9861 系列流量控制器和仪表”参数说明

型号: 9861 系列 规格: 其它
包装: 原装

“BROOKS 9861 系列流量控制器和仪表”详细介绍

布鲁克斯仪器创始于1946年。总部位于美**夕法尼亚州。布鲁克斯仪器在全球工业仪表行业中位列首

 

位。2008年,曾作为全球500强及工业控制排名全球*的艾默生(Emerson)集团创始公司之一的布鲁

 

克斯仪器从艾默生公司中独立出来。公司现在全球超过15个国家和地区拥有分支机构和办事处。我们研

 

制、生产并销售高性能的流量仪表仪器,广泛应用于医药、采炼油、化工、医疗、分析仪器、半导体制

 

造等等行业,以满足这些行业日益增长的对工业仪表的精益求精的需求。我们通过对顾客需求的独到见

 

解,在全球业务网络中为客户提供便捷迅速的解决方案及集成应用。布鲁克斯的成就来源于我们在行业

 

中逾60年的领导地位。

 

 

BROOKS  9861 系列高温质量流量控制器和仪表

提升高温流量控制的准确性和效率

型号 9861

布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计,该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路,可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利的 IsoSensor? 是一种稳定性极高的流量传感器,可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor? 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。

特点

  • 超稳定的 IsoSensor? 流量测量专利传感器
  • 高纯度流路
  • 远程控制电子元件(标配两个模拟电子连接器)
  • 数字测量和控制架构

优势

  • 传感器稳定性高,可保障超长运行时间、减少维护工作并降低总体拥有成本
  • 全金属接液流路可确保气体/蒸汽完整性和纯度
  • 包括 20 引脚卡缘连接器和 9/15 引脚“D”连接器,可实现标准化并减少库存
  • 强化准确性和过程控制

应用

  • 光纤制造 - MCVD
  • 硅材料半导体器件加工工艺
 

9861

流量范围-满量程容量

3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)

表面抛光

4µ inch Ra

精度

±1% SP @ 35 - **** FS

±0.35% FS @ <35% FS

重复性

< ±0.15% FS

响应时间-常闭

≤ 1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

 

模拟通讯

0-5 Vdc

数字通讯

RS485L Protocol

产品类型

Mass Flow Controller

区别

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

性能

流量范围-满量程容量

10 slm (N2 equivalent)

精度

1% of SP@ 35 - **** FS

0.35% of FS @ <35% FS

重复性

<±0.15% FS

线性

±0.5% FS (included in accuracy)

响应时间-常闭

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

零点稳定性

<±0.5% FS per °C

机械

密封材料

Metal

纯净等级

4 μ inch Ra

接液材料

316L SS/ KM-45/ 304 SS/ MO+

阀门

Normally Closed

Meter (no valve)

等级

**温度

150oC

压差范围

1.33 - 350 kPa (10 torr - 50 psia)

*Contact Brooks Technical Support for more information.

**压力

620 kPa (90 psi)

漏率

1x10-10 atm cc/sec He

电气

 

诊断能力

模拟通讯

0-5 Vdc

数字通讯

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

电气连接

Analog via 9- or 15-Pin "D" connector & 20 Pin Card Edge connector

电源-功耗

Controller (Analog & RS-485L): 5 Watts max @ ±15 Vdc (160 mA max)

Meter (Analog): 5 Watts max @ ±15 Vdc (50 mA max)

 

5861E质量流量计

5863E质量流量计

5853E质量流量控制器

5851E质量流量控制器

5850E质量流量控制器

5851EM质量流量控制器

5850EM质量流量控制器

5965质量流量控制器

5964质量流量控制器

4860质量流量计

4850质量流量控制器

5863S质量流量计

5861S质量流量计

5860S质量流量计

5853S质量流量控制器

5851S质量流量控制器

5850S质量流量控制器

5850i质量流量控制器

SLA7860质量流量计

SLA7850质量流量控制器

SLA7960质量流量计

SLA7950质量流量控制器

B950质量流量控制器

SLAMF63质量流量计

SLAMF61质量流量计

SLAMF60质量流量计

SLAMF53质量流量控制器

SLAMF51质量流量控制器

SLAMF50质量流量控制器

SLA5863质量流量计

SLA5861流量计

SLA5860流量计

SLA5853质量流量控制器

SLA5851流量控制器

SLA5850质量流量控制器

5860E质量流量计

Brooks_质量流量控制器用数据线

0254_质量流量控制器用电源

5881/5891/5882/5892液体质量流量控制器

奥利质量流量计

QMB_QUANTIM克利奥里精度质量流量控制器/计

SLA7840质量流量控制器

SLA5840质量流量控制器/计

5866RT压力控制器/流量计

5866M压力式质量流量控制器

5866E压力式质量流量控制器

SLA5820压力式质量流量控制器

SLA5810压力式质量流量控制器

SLA7820压力式质量流量控制器

SLA7810压力式质量流量控制器

0550E质量流量控制器

MF63X_IP66质量流量计

MF61X_IP66质量流量计

MF60X_IP66质量流量计

MF63i_IP66质量流量计

MF61i_IP66质量流量计

MF60i_IP66质量流量计

MF53X_IP66质量流量控制器

MF51X_IP66质量流量控制器

MF50X质量流量控制器

MF53i质量流量控制器

MF51i_IP66质量流量控制器

MF50iIP66质量流量控制器(30C31L)

MF53S质量流量控制器(12L253L)

MF51S质量流量控制器(11L12L)

MF50S质量流量控制器(30C31L)

MF50S/51S/53S/60S/61S/63S/64S_质量流量控制器/计

MF63S质量流量计

MF61S质量流量计

MF60S质量流量控制器

5863i质量流量计

5861i质量流量计

5860i质量流量计

5853i质量流量控制器

5851i质量流量控制器