工业 和高纯 中其他微量气体的测定

1.  基本介绍：

特种气体，是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，医用气，焊接气，杀菌气等，特种气体其中主要有：氧气、氮气、氩气、 气、 、乙烯、 、 、 、 、 、一 等。

我国特种气体于20世纪80年代随着电子行业的发展而逐渐兴起，虽然发展迅速，但如今国内厂商特种气体的产品种类与国外相比仍然比较单一，且级别不高。在我国集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等 领域，国外大型气体公司占据了80%以上的市场份额，尤其在大规模集成电路、新型显示面板等应用领域，存在较大的进口替代空间。近年来，随着国内特气行业的经验积累、技术进步和 影响，已逐步实现部分产品的进口替代，预计未来在国内产业升级过程中需要大量使用特种气体，中国的特种气体会大量国产化。

经过对相关 的研究与分析，发现每种气体里的检测对象并不相同，同一种气体的工业气和高纯气的检测对象也不相同。比如工业氦气，要求纯度≥97.5，可以用热导检测器和外标法来检测氖+ 、氧+氩、氮气和 的含量。但是高纯氦就要用氦离子检测器测氖、 、氧+氩、氮、CO、CO2和 的含量。

GC-7900气相色谱仪根据相关标准可以配置多种规格的气体进样阀与切换阀，加装高灵敏度的TCD或FID检测器，以及 气转化器，满足适应的国家相关标准的规定。

2.  可检测的项目

综上所述，我公司生产的GC-7900可以提供以下气体中组分杂质的检测：

GBT3394-2009   工业用乙烯、丙烯中微量CO、CO2和 的测定。

GBT8984-2008   气体中CO、CO2和碳氢化合物（总烃）的测定。

GBT23938-2021   高纯二氧化碳中总烃的测定。

GBT28123-2011   工业氦气中氖+ 、氧+氩、氮气和 的含量。

GBT3634.1-2006  工业 气中氧、氩和氮气的含量。

GBT3634.2-2011  纯 、高纯 和超纯 中氧+氩和氮气的含量；CO、CO2和 的含量。

3. 仪器图片与分析谱图

        

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山东联众分析仪器有限公司