Ø  北京亚科晨旭科技有限公司成立于1998 年 Ø 
业务领域：半导体前道设备、微电子封装设备、电装设备 Ø 
公司宗旨：专业服务?全面服务  

Trymax 等离子系统, 等离子清洗机，等离子去胶机, 等离子活化机  Trymax NEO 200A  Series 自动系列

应用范围： 半导体工艺活化、去胶、清洗等
产品主要特点： 灵活性强，拥有8/12 寸设备供选择，同时又可以提供半自动和全自动设备 稳定低温活化、清洗工艺 发射源选择性强，总共提供四种不同的发射源 稳定成熟的低温工艺 ?
特征-
- 高达200 毫米晶圆尺寸/ 基板尺寸
- 双料盒
- 3 轴双臂机器人处理-
选择4 个不同的流程模块：   ? 微波模块（2.45 GHz ）   ?RF 模块（13.56MHz ）   ? 双源（微波，射频模块）   ?DCP （双射频）
- 优异的均匀性和重复性
- 产能
> 100wph
- 占地面积小
- 基于Windows 的工业计算机