PTL-S系列等离子系统是小型真空等离子设备，主要根据不同的应用领域可提供不同频率、不同腔体大小、不同电极结构的系统配置。用于科研实验、教学演示、产品测试、小批量生产等领域，适合于大学实验室、科研院所、企业研发部门等。体积紧凑，功能配置齐全。PTL-S系列等离子系统主要应用于以下领域： · 生物技术· 电子技术· 精密工程· 研究和开发· 半导体技术· 小批量生产 · 塑料技术· 医疗技术· 微系统技术· 太阳能电池技术 · 纺织技术 基本设备 腔室容积：2L、5L、10L、20L可选 供电电源： 220 V 发生器 频率： 40 kHz: 功率 0 - 1000 W； 13.56 MHz: 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 无级可调型 真空腔室 · 圆形不锈钢腔体 · 矩形铝合金腔体 · 圆形石英玻璃腔体 工艺气源 质量流量控制器 或针阀流量计 两路或三路工艺气体 内置承载件 产品托盘、石英玻璃舟皿、氧化铝板、石英玻璃隔板 电极 单层或多层 内置或外置型 感性或容性耦合电极 控制系统 PLC+人机界面 压力测量控制 采用PID压力控制系统 真空泵 按需配置