UV Grid Lamps 紫外栅格灯
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“UV Grid Lamps 紫外栅格灯”参数说明
型号: | 254m光波 | 规格: | 5*5、8*8、12*12 |
商标: | Shtobey | 包装: | 纸箱 |
产量: | 10000 |
“UV Grid Lamps 紫外栅格灯”详细介绍
紫外栅格灯(UV Grid Mercury Lamps)有单管蛇形盘绕或“栅格(Grid)”形式,可产生大量的紫外光,可以有产生臭氧、无臭氧和磷涂层等方式,可以提供185nm、254nm或其它特定波长。LCD背光灯也可以提供。
晶圓紫外光ERASE-光清洗燈管
1.254m光波非接觸式照射,無電漿電荷擊穿問題,能保護精細IC電路
2.燈管可併排增大製程處理面積,燈管柵型設計(GRID TYPE)均勻性特佳
3.台製低壓 燈採冷陰極設計,使用壽命長(一般2000-5000H 換)
4.正常使用條件保固1000HR
5.無臭氧逸散問題,設備不需裝置熱排管
6. 換燈管簡易,使用者可自行 換
G1005NO
G995NO
G985NO-B
UVL2442
UVL8121
UVL681
C600GRID
應用產業
1.晶圓/驅動IC記憶抹除(MEMORY ERASE)製程
2.晶圓光清洗製程
3.膠帶去除
封裝/貼合前清潔/改質
規格樣式 (可依需求訂製)
項目 規格
燈管型號 MLA-GL005-6
適用產品 12/8/6吋晶圓及薄型工件
燈管尺寸(長x寬x高) 74X10X3 cm (可依需求訂製)
燈管型態/功率/產地 柵型低壓 燈/350W/台灣
紫外光主波長 254nm
UVC照度(新燈) 30 mw/cm2 (日系測錶) /70 mw/cm2(美系測錶)
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