MKS 1479A质量流量控制器
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产品详情
“MKS 1479A质量流量控制器”参数说明
| 品牌： | MKS | 加工定制： | 否 |
| 传感器： | 管段式/法兰式 | 口径： | DN10-50 |
| 类型： | 质量流量计 | 机构原理： | 质量流量计 |
| 测量介质： | 气体 | 测量精度： | ±0.6-1% |
| 测量原理： | 热学原理 | 测量范围： | 0-500slm |
| 工作压力： | <40pisa | 工作温度： | 建议常温 |
| 型号： | 1479A | 规格： | 金属密封质量流量控制器 |
| 商标： | MKS | 包装： | 可回收塑料包装盒 |
| MKS： | 质量流量控制器 | 产量： | 10000 |
“MKS 1479A质量流量控制器”详细介绍
MKS 1479A质量流量控制器（金属密封）
1479A是一种坚固的金属密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1479A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1479能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：±15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字：RS485或Device net或Profibus
法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材质：316不锈钢。
1479A是一种坚固的金属密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1479A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1479能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：±15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字：RS485或Device net或Profibus
法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材质：316不锈钢。
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