MKS 979系列宽量 空计利用宽量程的微皮拉尼(10ˉ10Torr到Atm)和小型的离子规(10ˉ10到10ˉ2Torr)，提供了单个真空计涵盖13个压力等级的测量范围，3个中继点，简化了系统的控制，如减小泵的抽速，分子泵的控制和阀门的触发等。

产品特点：
● 可以测量从10ˉ10Torr到大气压的13个压力等级的测量范围
● 结合了微皮拉尼的离子规复合真空计
● 可用于实时数据存取的微机电数字科技
● RS485通讯和控制
● 有3个独立的设定点切换
● 较低的功率消耗，24VDC，10W
● 快速的，准确地，可重复的压力测量减少了工艺的循环周期
● 任意安装方向而不影响读数精度
● 2个镀铱的灯丝，延长了使用寿命
● 精巧的设计很容易对真空计进行维护
● 符合欧洲CE标准

应 用：
   MKS 979复合真空计特别适用于高真空工艺，即从大气压到10ˉ10Torr，非常理想地用于PVD和离子注入工艺的较宽的循环压力变化。双传感器的设计和数 字通讯确保了在高真空镀膜应用中需要长期的稳定性和准确性，精巧的设计使979成为在半导体和工业化领域中的系统集成提供了理想的解决方案。