TM复合机器人助力晶圆制造 Tray盘 卡塞转运
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产品详情
“TM复合机器人助力晶圆制造 Tray盘 卡塞转运”参数说明
型号: | TM16 | 规格: | 16kg |
包装: | 纸箱 | 适用行业: | 半导体、3c、机加工等 |
产量: | 100 |
“TM复合机器人助力晶圆制造 Tray盘 卡塞转运”详细介绍
基本介绍
移动机器人是智能工厂建设的关键一环,实现生产物料在各工序间的自主流转,大大解放人类劳动,在产业智能转型升级中扮演着不可或缺的角色。然而面对工序繁复的生产流程,移动机器人的边界只能触达产线的线边仓,线边仓至生产线的物料搬运装填仍需要人力来执行,无法形成完整的物料自主流转闭环,兼具移动和操作功能的复合型机器人则成为打通智能物流“最后一米”的优解。
性能特点
对半导体上游晶圆生产车间打造的复合型移动操作机器人,一站式解决晶圆流转难题,助力芯片智能制造,实现芯片产能提升。在某全球晶圆厂的晶圆无尘车间中,实现晶圆盒的无人化转运和 上下料的同时,减小无尘车间污染带来的风险,提升良品率,降低50%震动所致晶圆破裂风险,减少操作员30%无效行走,提高电子料架利用率66%,整厂实现了2%的效率提升。
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