简介：

Novx系列7000工艺监视器是一种多用途的微处理器，用于监测工作站和工艺环境中关键的静电相关参数。这6个专用通道提供了灵活性，可以为每个位置所需的监视功能和通信定制工具。模块选项包括电压检测/离子发生器平衡,ESD事件,身体电压检测或地面监测和粒子计数。

该仪器可通过校对器软件进行编程，允许用户设置阈值和警报，定义数据记录参数，并自动报警通知。时间戳的图形界面提供了将事件与传感器测量相关联的能力。