加热炉部分

1

炉膛模式

开启式炉膛

2

显示模式

7英寸触摸屏

3

极限温度

1200℃

4

工作温度

≤1150℃

5

升温速率

建议10℃/Min   Max：30℃/Min

6

加热温区

单温区/双温区

7

单温区长度

200 mm

8

炉管规格

60*1150 mm

9

控温精度

±1℃

10

密封方式

快速法兰密封

11

温度曲线

30段"时间—温度曲线"任意可设

12

预存曲线

可预存15条温度曲线

13

超温报警

有

14

过流保护

有

15

断偶提示

有

16

测温元件

K型热电偶

17

炉膛材料

氧化铝纤维

18

外形尺寸

800*560*1500MM

 射频电源功率

1

信号频率

13.56 MHz±0.005%

2

功率输出范围

5W-300W

3

功率稳定度

±0.1%

4

谐波分量

≤-50dbc

5

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

6

整机效率

>=70%

7

功率因素

>=90%

8

冷却方式

强制风冷

真空部分

1

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

2

功率

500W

3

抽气速率

6L/s

4

进气口口径

KF25

5

排气口口径

KF25

6

转速

1450rpm

7

噪音

55dB

8

极限真空

4X10-2Pa

 气路系统（标配2路普通质量流量计， 的可选配）

1

1,2气路采用DB07K系列

准确度：±1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

2

3路采用高精度CS200系列

准确度：±0.35%FS  ±1.0%SP

线性：±0.5%FS

重复精度：±0.2%FS

响应时间：气特性：1Sec

 整机系统特色

1

正压测量

-100Kpa---100Kpa

2

真空测量

10-2Pa ～100Kpa（支持Ar测量）

3

正压保护

支持

4

压力恒定

支持

5

智能气路

支持

6

气路定时

支持

7

射频工作时间设定

支持

8

移动速度调节

支持

9

系统真空度

4.8×10-1Pa