1. 设备名称、数量及型号规格

名称

型号规格

数量

制造商

高低温真空探针台

CPPS-ZK-4

1

北京维意真空技术应用有限责任公司

 

 

1. 设备功能及配置要求

               高低温真空探针台配置表

真空腔体

   

直径为8英寸，高度7英寸的304材质真空室                                     

上盖带4英寸石英观察窗，具备双层水冷功能 

直径为4英寸的样品台，平整度5微米

1个KF25抽真空排气口，1个CF16充气口，1个KF16电阻规接口，1个KF16放气口，1个KF40预留接口，1个DN63 BNC真空贯穿接口，2个CF35冷却液接口，4个DN63探针台接口,2个CF16电源接口

探针平台

   

探针平台，密位移方向XYZ三轴，采用交叉滚柱导轨，产品定向性能稳定，采用精密研

磨丝杆M3*0.5分辨率高，配合做大手轮，行程：X轴40mm，Y轴40mm，Z轴40mm，分辨率3微米，螺距，M3*0.5，重复定位精度±2微米，单轴直线度±2微米，固定方式沉孔螺钉固定。

探针夹具，  漏电精度100fA，接三同轴接口，陶瓷结构

探针臂，采用304不锈钢光轴，保证水平的准直度和刚性

探针臂移动真空密封装置，配置焊接波纹管

外侧需要配备4个1.5m长度三同轴线，接客户4200系列数字源表

光学平台

    

自动平衡精密隔振光学平台配置气悬浮自动平衡支架                                             

自动平衡支架需要带围板，配置空气压缩机

显微镜

  

配CCD接口和0.4*C-mount接口，采用USB连接电脑，分辨率≤1μm ，像素≥500万。

变焦：0.8倍-5倍

Z轴方向调节范围≥50.8mm，调节精度 10μm

工作距离115mm，变倍比1:6.7

自带软件，可拍照，录像

可对图像进行标注，测量

含10英寸显示器

高低温控制系统

  

PID温度控制，显示精度0.1℃，控温精度±1℃，温度均匀性±3℃

最高温度300℃，最低温度-142℃

高温部件构成及低温部件构成

50L自增压液氮罐

液氮输入管

气敏测试系统

   

1路CF16手动充气针阀

可自动化控制，实现气敏测试功能

真空系统   

 

客户自备真空泵

配置KF25手动挡板阀1个，KF16手动放气阀1个

真空测量配置压阻电阻复合真空计，安装1个全金属KF16电阻规

备品配件  

 

密封件1套，5微米针尖探针10支，探针臂陶瓷件1个

 

1. 设备主要技术参数

1.最低温度-142℃， 不低于300℃

2.漏电流不得高于100fA

3.触控控制单元，实现触控控制各项参数

4.探针位移精度≤3微米

 

4  设备结构及运行环境要求

运行环境：10-30摄氏度，湿度30%-70%