深圳维尔克斯光电有限公司
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1μm精度电控平移台

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1μm精度电控平移台

订货量(件) 价格(元/件)
1 55000.00
供货总量 1000件
产      地 广东省/深圳市
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“1μm精度电控平移台”参数说明

认证: 1 品牌: Zaber
尺寸: 1 类型: 高精度电控平移台
适用范围: 高精度电控平移台 重量: 1
加工定制: 型号: X-LDM-AE
规格: 1 商标: Zaber
包装: 纸箱 电源大小: 48 VDC
Axes of Motion: 1 峰值连续推力: 35 N
峰值推力: 60 N

“1μm精度电控平移台”详细介绍

关于加拿大Zaber的产品资讯,厂家推出了X-LDM-AE系列1μm精度电控平移台,适用于要求出色精度的应用。X-LDM-AE高精度平移台采用线性编码器,搭配非接触式无铁芯直线电机,能够实现1μm的位置精度,80nm的高重复精度和低至25nm的移动步长。这款高精度线性平移台具有60mm,110mm,210 mm三种行程选择。

有限行程的需求下,移动式磁道平移台可以提供更高的精度。因为平移台移动的部分是与电流及热源区隔分开的,使得移动能有更好的热稳定性及更低的电噪声干扰。并且stationary forcer是通电后会产生热的装置,被固定在当作散热器的系统底部,这也使得整个系统拥有更好的热稳定性。

X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口,并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样,X-LDM-AE系列设计为“即插即用”,易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出,用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验,PL和EL实验还有自动化设备等应用上。

 

X-LDM-AE高精度电控平移台特点

  • 高重复性80nm和精度1μm,Min增量移动25 nm
  • 1 nm分辨率并有线性编码器
  • 速度*快可达1.2M/秒,加速度高达3.5g
  • 60,110,210 mm三种行程选择
  • 内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接
  • 非接触式无铁芯直线电机,具有超精密,高动态和零间隙
  • 一个数字输入和两个数字输出
  • 可组合成双轴XY

 

重复性Repeatability:

在稳定条件下,指示设备移动到目标位置反复100次(每次从相同方向接近)时,实际位置的的偏差。

精度(单向)Accuracy (unidirectional):

当从相同方向,在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。

增量移动Minimum Incremental Move:

定位轴增量移动的步长(Min机械增量)。