该旋转烘箱和喷涂台用于多晶硅坩埚喷涂氮化硅烘烤。 坩埚喷涂烘烤装置是多晶硅铸锭炉的辅助工艺装备，用于对铸锭炉所使的石英坩埚进行脱模剂（SiN粉末）涂层喷涂。该装置是铸锭炉 附机，采用 的温控匀热技术及美国产高精密防飞雾喷枪，能帮助用户完成高质量的坩埚喷涂，并减少原料的消耗！根据用户需求，坩埚喷涂烘烤工艺装备包括双向回转加热器、脱模剂（SiN）泵送系统、坩埚烘箱等辅助附件组成。 该喷涂台和喷枪适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国3M的精密可调非金属喷枪，搅拌器采用非金属材料制成，在喷涂过程中 没有金属杂质进入多晶硅坩埚的涂层中，有效保证了氮化硅涂层的纯净。 自动喷涂采用机器人喷涂，一台机器人 可以喷涂四个坩埚。有一拖二和一拖四两种方式自动喷涂。
 一、旋转台技术规格：
a、加热腔室：长880mm×宽880mm×深400～600mm和长1040mm×宽1040mm×深480～600mm以及长1180mm×宽1180mm×深540mm
b、适用坩埚尺寸：G5坩埚长878mm×宽878mm×高420～600mm和G6坩埚长1040mm×宽1040mm×高480～600mm以及G7坩埚长1180mm×宽1180mm×高540mm
c、最大承重量：30公斤至450公斤；
d、额定功率：15千瓦至30千瓦；
e、倾转角度：10°～15°；
g、最高加热温度：180℃；
h、电源：3相380V　50HZ；
二、手动喷涂台的技术规格：
a、SiN搅拌器驱动方式：气动； 搅拌速度：0～30rpm无级可调；
b、蠕动泵驱动方式：气动； 泵送方式：压送；
c、溢流阀：溢流压力可调；
d、3M非金属喷枪雾化锥度：可调； 出口压力：15～40psi
e、 ：出口压力：80～10psi；
f、气源供气压力：6～8kg/cm2，符合DIN　 　8573-1　3标准，干燥、洁净、去油的压缩空气；
g、脱模剂SiN粉末，粒度≤0.26m；
h、纯水（用户自备）工业一级，符合GB/TII446.1-1997　EW-I要求；