全自动RCA清洗机-苏州尚纯
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产品详情
“全自动RCA清洗机-苏州尚纯”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 机器种类： | RCA清洗机 |
| 清洗方式： | RCA清洗机 | 清洗工序： | 酸洗 |
| 原理： | 其它 | 用途： | 工业用 |
| 品牌： | 尚纯 |
“全自动RCA清洗机-苏州尚纯”详细介绍
全自动RCA清洗机
适用产业：半导体等
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
| 项目 |
数据 |
| 适用对象 |
硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片 |
| 基本规格 |
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材 机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm） |
| 选配模块 |
|
| 机台特点 |
|
| 机械臂装置 |
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内） 机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向 右进做出或左进右出 |
| 制程控制 |
PLC控制方式 |
| 操作界面 |
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏） |
| 槽体数量 |
根据制程要求选择定制 |
| 设备制造 |
苏州尚纯半导体设备有限公司 |
全自动RCA清洗机
适用产业：半导体等
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
| 项目 |
数据 |
| 适用对象 |
硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片 |
| 基本规格 |
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材 机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm） |
| 选配模块 |
|
| 机台特点 |
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| 机械臂装置 |
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内） 机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向 右进做出或左进右出 |
| 制程控制 |
PLC控制方式 |
| 操作界面 |
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏） |
| 槽体数量 |
根据制程要求选择定制 |
| 设备制造 |
苏州尚纯半导体设备有限公司 |
全自动RCA清洗机
适用产业：半导体等
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
| 项目 |
数据 |
| 适用对象 |
硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片 |
| 基本规格 |
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材 机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm） |
| 选配模块 |
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| 机台特点 |
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| 机械臂装置 |
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内） 机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向 右进做出或左进右出 |
| 制程控制 |
PLC控制方式 |
| 操作界面 |
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏） |
| 槽体数量 |
根据制程要求选择定制 |
| 设备制造 |
苏州尚纯半导体设备有限公司 |
全自动RCA清洗机
适用产业：半导体等
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
| 项目 |
数据 |
| 适用对象 |
硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片 |
| 基本规格 |
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材 机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm） |
| 选配模块 |
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| 机台特点 |
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| 机械臂装置 |
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内） 机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向 右进做出或左进右出 |
| 制程控制 |
PLC控制方式 |
| 操作界面 |
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏） |
| 槽体数量 |
根据制程要求选择定制 |
| 设备制造 |
苏州尚纯半导体设备有限公司 |
全自动RCA清洗机
适用产业：半导体等
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
| 项目 |
数据 |
| 适用对象 |
硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片 |
| 基本规格 |
机台封面：瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材 机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm） |
| 选配模块 |
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| 机台特点 |
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| 机械臂装置 |
Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内） 机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向 右进做出或左进右出 |
| 制程控制 |
PLC控制方式 |
| 操作界面 |
全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏） |
| 槽体数量 |
根据制程要求选择定制 |
| 设备制造 |
苏州尚纯半导体设备有限公司 |
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