产品描述

苏州尚纯流体设备有限公司

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经营模式: 贸易批发

所在地区: 江苏省  苏州市

认证信息: 身份认证

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苏州尚纯流体设备有限公司是pfa接头,pfa管件,pfa阀门的优良贸易批发商,竭诚为您提供全新的全自动RCA清洗机-苏州尚纯,全自动RCA清洗机-苏州尚纯,pfa接头seba流量计pfa流量计/PFA隔膜阀/pfa直通等系列产品。

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全自动RCA清洗机-苏州尚纯

图片审核中 全自动RCA清洗机-苏州尚纯
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全自动RCA清洗机-苏州尚纯

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价格 面议
起批量 1
供货总量 100台
产地 江苏省/苏州市
发货期 自买家付款之日起40天内发货
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徐鹤 先生
  • 159****8387

联系信息

  • 徐鹤  先生 
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  • 地址: 江苏省 苏州市   中国江苏省苏州市星胡明轩818号
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产品详情

“全自动RCA清洗机-苏州尚纯”参数说明

是否有现货: 清洗工序: 酸洗
原理: 其它 用途: 工业用

“全自动RCA清洗机-苏州尚纯”详细介绍

全自动RCA清洗机-苏州尚纯基本介绍

全自动RCA清洗机

适用产业:半导体等

控制模式:手动控制模式、自动控制模式

项目

数据

适用对象

硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

其它衬底晶片

基本规格

机台封面:瓷白PP板材(厚度≥10mmOr China SUS板材(厚度≥2mm

机台主体强度结构:整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mmOr China 钢化玻璃(厚度≥2mm

选配模块

  1. 腐蚀液恒温系统
  2. 腐蚀液循环过滤系统
  3. 超(兆声)系统
  4. 全自动供液系统
  5. 全自动烘干系统
  6. 消防系统
  7. 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

机台特点

  1. 刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
  2. QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定
  3. 集成自动干燥系统
  4. 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
  5. 保修便利,非库存品工厂内均建立 库存品
  6. 全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小运行平稳,机械臂定位精度高
  7. 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储
  8. 作业区内有害气体多种 主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身
  9. 客制化设计能力佳,搞设计能力满足客户制程工艺需要

机械臂装置

Robot的工艺路径种类 N种(设备出厂前载入PLC内)

机械手传送定位精度 0.3mm

机械臂走向 右进做出或左进右出

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏)

槽体数量

根据制程要求选择定制

设备制造

苏州尚纯半导体设备有限公司

全自动RCA清洗机-苏州尚纯性能特点

全自动RCA清洗机

适用产业:半导体等

控制模式:手动控制模式、自动控制模式

项目

数据

适用对象

硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

其它衬底晶片

基本规格

机台封面:瓷白PP板材(厚度≥10mmOr China SUS板材(厚度≥2mm

机台主体强度结构:整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mmOr China 钢化玻璃(厚度≥2mm

选配模块

  1. 腐蚀液恒温系统
  2. 腐蚀液循环过滤系统
  3. 超(兆声)系统
  4. 全自动供液系统
  5. 全自动烘干系统
  6. 消防系统
  7. 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

机台特点

  1. 刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
  2. QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定
  3. 集成自动干燥系统
  4. 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
  5. 保修便利,非库存品工厂内均建立 库存品
  6. 全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小运行平稳,机械臂定位精度高
  7. 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储
  8. 作业区内有害气体多种 主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身
  9. 客制化设计能力佳,搞设计能力满足客户制程工艺需要

机械臂装置

Robot的工艺路径种类 N种(设备出厂前载入PLC内)

机械手传送定位精度 0.3mm

机械臂走向 右进做出或左进右出

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏)

槽体数量

根据制程要求选择定制

设备制造

苏州尚纯半导体设备有限公

 

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