JEL·晶圆校准器
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产品详情
“JEL·晶圆校准器”参数说明
型号: | Sal38c3hv | 商标: | Jel |
适用晶圆尺寸: | 200-300 mm | 颜色: | 银色 |
控制方式: | 串口RS232c或者并口光学I/o口 | 产量: | 5 |
“JEL·晶圆校准器”详细介绍
SAL38C3HV
产品特点
适用于200-300 mm晶圆
可适用于硅片,带BG胶带(乳白色)的硅片,透明,半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准
使用的图像识别传感器,采用了控制器和电机驱动器集成到设备本体内部的一体化设计
以根据晶圆尺寸,材质更改Spindle的直径,形状和材质可以使用伯努利吸附方式
控制方式:串口RS232C或者并口光学I/O口
符合SEMI规格的缺口,缺边形状也可以提供定制设计
能够为Spindle增加Z轴以满足对晶圆进行升降的需求
晶圆重新拿起的动作对Z轴进行选择设定
JEL SAL3482HV
产品特点
适用于100-200 mm晶圆
可适用于硅片,带BG胶带(乳白色)的硅片,透明,半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准
使用的图像识别传感器,采用了控制器和电机驱动器集成到设备本体内部的一体化设计
可以根据晶圆尺寸,材质更改Spindle的直径,形状和材质可以使用伯努利吸附方式
控制方式:串口RS232C或者并口光学I/O口
不符合SEMI规格的缺口,缺边形状也可以提供定制设计
能够为Spindle增加Z轴以满足对晶圆进行升降的需求
晶圆重新拿起的动作对Z轴进行选择设定
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