200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L
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产品详情
“200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L”参数说明
是否有现货: | 是 | 品牌: | 云奕 |
用途: | 商用 | 清洗方式: | 超声波清洗 |
燃料: | 电 | 清洗工序: | 热水清洗 |
槽数: | 1 | 适用领域: | 大学实验室 |
类型: | 一体式 | 功率: | 0-150W |
外形尺寸: | 265X165X270 | 工作方式: | 电动 |
清洗温度: | 20-80℃ | 超声清洗频率: | 200kHz |
型号: | Yls0603-200 | 规格: | 内槽尺寸(mm):240*135*100 |
商标: | 云奕 | 包装: | 350X245X350mm |
产量: | 5000 |
“200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L”详细介绍

200KHZ高频超声波清洗机洗晶圆、硅片、芯片应用
晶圆是由硅锭切割而成的圆形单个硅片,经过抛光后变得无瑕,甚至可以当成镜子。作为高科技行业半导体制造的原材料,要求晶圆表面洁净度高,清洗达到精密清洗级别。
切割出来的晶圆在加工、成形及抛光处理过程中因与各种有机物、粒子和金属接触而产生的污染物,传统的清洗方法很难清除其中的污垢。超声波清洗机能够将振动波传导到液体中,使得液体能够进入这些难以到达的区域,并通过微小气泡的破裂和流动的冲击力,将污垢清洗出来,保证晶圆的完整性和洁净度。
清洗前处理:在进行晶圆清洗前,首先需要对晶圆进行表面检查,了解其表面状况,包括油脂、颗粒、化学污染等情况,以便选择合适的清洗液和清洗参数。
清洗过程:将待清洗的晶圆放置在超声波清洗槽中,加入适量的清洗剂和清水。开启超声波清洗设备,通过超声波振动产生的高频压力波,将晶圆表面的颗粒、油污等污垢清除。
清洗后处理:清洗完成后,将晶圆取出,进行清水冲洗,确保清洗液残留物清除,然后进行干燥和保养处理。
实际效果:经过超声波清洗后,晶圆表面清洁度显著提高,无残留杂质,保证了半导体器件的正常工作。
设备选型
实验室晶圆清洗台式超声波清洗机,云奕有单频、双频、多频的清洗设备选择。可以满足粗洗到精洗的过程,小批量实验的清洗,保证了晶圆表面的高清洁度。晶圆厂的大批量清洗,可以选择自动化程度高的超声波清洗线,从粗洗到精洗到烘干清洗完成的生产线,避免了二次的污染。
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型号:YLS0603-200 | 内槽尺寸(mm):240x135x100 |
容量:3.2L | 外形尺寸(mm):265x165x270 |
频率:200KHZ | 包装尺寸(mm):350x245x350 |
超声波功率:0-150W | 时间控制:1-9999秒 |
加热功率:300W | 温度控制:20-80°C |
200KHZ 【3.2L-30L容量】规格参数
型号 | 振头 | 容量 | 内槽尺寸mm | 整机尺寸mm | 频率 | 超声功率 | 加热功率 | 温度 | 时间 |
YLS0603-200 | 6个 | 3.2L | 240x135x100 | 265x165x280 | 200KHZ | 150W | 300 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS0605-200 | 6个 | 4.8L | 240x135x150 | 265x165x330 | 200KHZ | 150W | 300 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS0804-200 | 8个 | 4.5L | 300x150x100 | 325x175x280 | 200KHZ | 200W | 450 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS0806-200 | 8个 | 6.5L | 300x150x150 | 325x175x330 | 200KHZ | 200W | 450 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS1610-200 | 16个 | 10L | 300x240x150 | 325x265x330 | 200KHZ | 400W | 600 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS1614-200 | 16个 | 14L | 300x240x200 | 325x265x380 | 200KHZ | 400W | 600 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS2015-200 | 20个 | 15L | 330x300x150 | 355x325x330 | 200KHZ | 500W | 1000 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS2019-200 | 20个 | 19L | 330x300x200 | 355x325x380 | 200KHZ | 500W | 1000 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS3222-200 | 32个 | 22L | 500x300x150 | 530x330x335 | 200KHZ | 800W | 1000 | 20-80℃ | 1-9999秒 |
YLS3230-200 | 32个 | 30L | 500x300x200 | 530x330x385 | 200KHZ | 800W | 1000 | 20-80℃ | 1-9999秒 |


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