真空探针台电子显微镜
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产品详情
“真空探针台电子显微镜”参数说明
| 型号： | Kt-z4019mrl4t | 规格： | 台 |
| 商标： | 郑科探 | 包装： | 木箱 |
| 加热台尺寸： | Φ60mm | 内腔体尺寸： | Φ160X90mm |
| 观察窗尺寸： | Φ70mm |
“真空探针台电子显微镜”详细介绍
高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有 要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配 真空度的泵组，以满足测试要求。
为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。
可选多种样品台配置
普通的样品夹具。们也提供同轴或三同轴配置的样品夹具，用于 漏电测试应用中。所有样品夹具表面均有镀金层，增强样品的导电性能
| 真空腔体 |
|
| 腔体材质 |
304不锈钢 |
| 上盖开启 |
铰链侧开 |
| 加热台材质 |
304不锈钢 |
| 内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
| 观察窗尺寸 |
Φ70mm |
| 加热台尺寸 |
φ60mm |
| 观察窗热台间距 |
75mm |
| 加热台温度 |
﹣196~350℃ |
| 加热台温控误差 |
±1℃ |
| 真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允许正压 |
≤0.1MPa |
| 真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
| 气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
| 电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
| 电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
| 探针数量 |
4探针 |
| 探针材质 |
钨针 |
| 探针尖 |
10μm |
| 探针移动平台 |
|
| X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
| X轴控制精度 |
≤0.01mm |
| Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
| Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
| Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
| Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
| 电子显微镜 |
|
| 显微镜类别 |
物镜 |
| 物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
| 工作间距 |
90mm |
| 相机 |
sony 高清 |
| 像素 |
1920※1080像素 |
| 图像接口 |
VGA |
| LED可调光源 |
有 |
| 显示屏 |
8寸 |
| 放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
应用范围：
l 光伏工业
l 材料科学
l 光电行业
l 失效分析
l 通信器件测试
l 微机电技术
l 高频/微波测试
l 半导体技术
待测器件的温度会受到辐射及周边部件热传导的影响，因此，如果没有完善的热锚技术，将无法得到 可靠的目标温度。由于传感器只是安装在恒温器上，而不是安装在的温度实际将比您在控制器上观察到的温度要高出许多。
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