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产品详情
“大功率溅射仪郑州科探仪器”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 郑科探 |
| 品牌： | 郑科探 | 加工定制： | 是 |
| 产品适用范围： | 1 | 测量范围： | 1 |
| 电源： | 1 | 工作电压： | 1 |
| 外形尺寸： | 1 | 重量： | 1 |
| 型号： | Kt-z1650PVD | 商标： | 郑科探 |
| 包装： | 木箱 | 产量： | 999 |
“大功率溅射仪郑州科探仪器”详细介绍
大功率溅射仪郑州科探仪器基本介绍
大功率溅射仪，桌面式设计，触摸屏控制，石英＋不锈钢腔体，溅射距离可调，自动电动挡板可保护样品和清洗靶材。
大功率溅射仪郑州科探仪器性能特点
大功率溅射仪，桌面式设计，触摸屏控制，石英＋不锈钢腔体，溅射距离可调，自动电动挡板可保护样品和清洗靶材。
离子镀膜技术是PVD技术的一种，是指在PVD沉积过程中，被镀材料形成金属或者非金属等离子体（如Ti离子，N离子），等离子体在偏压电场的作用下，沉积在工件表面上。由于离子镀过程中，离子的能量强，离子绕射性好，膜层的结合力好，膜层致密性也好，膜层性能好。
离子镀膜技术的应用非常广泛，常见的有：装饰性镀膜，工具模具硬质镀膜以及各种功能膜层。
大功率溅射仪郑州科探仪器技术参数
大功率溅射仪技术参数；
| 控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 溅射电源 |
直流溅射电源 |
| 镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 功率 |
≤1000W |
| 输出电压电流 |
电压≤1000V 电流≤1A |
| 真空 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 溅射真空 |
≤30Pa |
| 挡板类型 |
电控 |
| 真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
| 样品台 |
可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
| 样品台转速 |
8转/分钟 |
| 样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
| 真空测量 |
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
| 预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
大功率溅射仪郑州科探仪器使用说明
大功率溅射仪郑州科探仪器采购须知
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