快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鉴了国际 制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。

应用领域

Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火

Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长

Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

Ø 硅化 (Silicidation);

Ø 扩散 (Diffusion);

Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

    
主要特点

Ø 极速升温100℃/S，极速降温100℃/S；

Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触 均匀；

Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格（选配）；

技术参数：

 

产品名称	RTP快速升温炉
产品型号	RTP1100
额定温度	1100℃
温场均匀性	±2℃
炉膛升温速率	≥100℃/S
快降温速率	≥100℃/S
操控系统	智能AIO操作系统
操作界面	7英寸触摸屏
加热方式	短波红外线加热
加热腔体结构	双层石英管
外管直径	100mm
内管直径	80mm
气体保护方式	外管进气，内管出气
超温保护	温度出现过高时切断主回路
式样有效空间	70*100mm
真空系统	8L/S双级联真空系统（选配）
整机真空度	3Pa
真空启动方式	根据程序设置自动启停
抽气端口尺寸	KF16
供气口尺寸	1/4英寸双卡套
法兰冷却方式	水冷（短时间无需水冷）（可选配水冷机）
真空显示	真空压力表（可选配数显真空计）
上位机操控	基于安卓系统APP（选配）
数据导出方式	APP导出Excel表格（选配）
额定功率	12kw
外形尺寸	950*500*560mm
重量	50kg
配件	管堵2支，法兰水冷套1支，耐温手套1双，坩埚钳1把，说明书1本。