芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜
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产品详情
“芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜”参数说明
| 型号： | Yis-200sp,300sp | 尺寸： | 420(w)X700(d)X970(h)mm |
| 产量： | 3 |
“芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜”详细介绍
芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜基本介绍
应用魔镜的原理，高灵敏度地检查镜面样品的表面状态。可以高灵敏度地检测样
品表面上的不均匀性，翘曲，抛光不均匀性等，检测结果在监视器上用亮度（白
）和暗度（黑）表示。
检查可以在非接触和非破坏性的情况下进行，并且可以立即确认样品的表面状态
。 这是一款使用免维护光学系统，可操作性优异的设备。
芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜性能特点
1、利用魔镜原理，观察那些目视无法确认的晶圆镜面样品表面上的micro缺陷。
2、凹面缺陷则较为明亮、凸面缺陷则较为暗淡。通过明暗测定缺陷种类、缺陷位置、以及缺陷尺寸。
3、可检测晶圆表面的Dimples、凹凸、研削痕、研磨痕、滑移线、Edge缺陷、翘曲、变形等异常。
芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜技术参数
芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜使用说明
1、切割，研削，研磨，抛光，外延及退火后硅片表面检测（量产用）
2、SiC，GaN等化合物晶圆表面缺陷检测
3、蓝宝石，水晶，玻璃晶圆的表面以及内部缺陷检测
4、各工程的晶圆抽样检测用（线下用）
芯茂-表面缺陷检测装置-魔镜采购须知
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