水冷型溅射仪郑州科探仪器
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产品详情
“水冷型溅射仪郑州科探仪器”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 郑科探 |
| 品牌： | 郑科探 | 加工定制： | 是 |
| 产品适用范围： | 郑科探 | 型号： | Kt-z1650PVD |
| 产量： | 999 |
“水冷型溅射仪郑州科探仪器”详细介绍
水冷型溅射仪郑州科探仪器基本介绍
水冷型溅射仪，KT-Z1650PVD，桌面式小型溅射仪，内配自动电动挡板，可保护样品或清洗靶材。
水冷型溅射仪郑州科探仪器性能特点
水冷型溅射仪，KT-Z1650PVD，是一种紧凑型全自动溅射镀膜机，使用非常简单。由于插件概念，该设备很容易配置溅射或蒸发，只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段，每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段，膜厚监测都作为标准。.
？高性能溅射、碳涂层和等离子处理
？获得的碳线轴– 50个碳涂层，无需用户干预
？即插即用溅射和碳涂层模块
？真空性能和快速泵送时间
水冷型溅射仪郑州科探仪器技术参数
水冷型溅射仪，技术参数；
| 控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 溅射电源 |
直流溅射电源 |
| 镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 功率 |
≤1000W |
| 输出电压电流 |
电压≤1000V 电流≤1A |
| 真空 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 溅射真空 |
≤30Pa |
| 挡板类型 |
电控 |
| 真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
| 样品台 |
可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
| 样品台转速 |
8转/分钟 |
| 样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
| 真空测量 |
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
| 预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
水冷型溅射仪郑州科探仪器使用说明
水冷型溅射仪郑州科探仪器采购须知
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